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| ◇A◇
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| 【absolute
vacuum gauge （絶対真空計）】
他の真空計を参照することなく,また気体の種類に無関係に,物理量の測定だけから圧力が求められる真空計。 TOPに戻る |
| 【absorption
（吸 収）】 気体または蒸気分子(吸収質:absorbate)が固体または液体(吸収媒:absorbent)の内部に取り込まれる現象。 備考:この場合の気体または蒸気分子を吸収質,固体または液体を吸収媒という。 TOPに戻る |
| 【accommodation
coefficient （熱適応係数）】
入射粒子と表面との間の熱エネルギーの授受の程度を表す係数。実際に授受される平均エネルギーと,入射粒子が表面と熱平衡に達して表面から空間に戻ると仮定した場合に授受される平均エネルギーとの比。 (量記号:α) TOPに戻る |
| 【adsorption
（吸 着）】 気体または蒸気分子(吸着質:adsorbate)が固体または液体(吸着媒:adsorbent)の表面にとどまっている現象。備考 この場合の気体または蒸気分子を吸着質,固体または液体を吸着媒という。 TOPに戻る |
| 【adsorption
pump （ソープションポンプ,収着水ンプ）】
単位質量当たりの真表面積の大きな物質(たとえば多孔質物質)の収着作用を利用する気体ため込式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【air
inlet valve （エアインレッドバルブ）】
真空内に気体を導入するバルブ。ベントバルブあるいはリークバルブとも呼ばれる。 TOPに戻る |
| 【air
inlet valve,vacuum breaker （通気バルブ）】
大気圧の空気を真空装置内に入れるためのバルブ。 TOPに戻る |
| 【air
tight （気 密) 】 与えられた仕様による漏れ孔がないこと。 TOPに戻る |
| 【appendage
vacuum pump （高真空維持ポンプ,アペンデージポンプ）】
排気された容器内の圧力を低圧に維持するために主ポンプに代わって用いられる補助的な真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【asher
（アッシャ-）】 フォトレジストを酸素プラズマ中で酸化させ,二酸化炭素と水にすることで排気し,レジスト剥離を行う装置。反応を促進させるため,ハロゲンプラズマの添加も行われる。一般には, 石英やパイレックス製の円筒容器が用いられる。高周波印加方式には,ダイオード型の有電極方式と無電極(コイルや外部電極)方式がある。試料へのプラズマダメージを低減する目的でマイクロ波励起型のダウンフロー型やHEとの複合型もある。 TOPに戻る |
| 【auctble
leak inctcator,squealer （聴覚漏れ指示器）】
漏れ捜し器の出力信号を,漏れ孔の大きさに従って周波数の変わる音に換える付属装置。 TOPに戻る |
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