[目次][ア行][カ行][サ行][タ行][ナ行][ハ行][マ行][ヤ行][ラ行][ワ行] ◇ア◇ 【アッシャ- (asher) 】 フォトレジストを酸素プラズマ中で酸化させ,二酸化炭素と水にすることで排気し,レジスト剥離を行う装置。反応を促進させるため,ハロゲンプラズマの添加も行われる。一般には,石英やパイレックス製の円筒容器が用いられる。高周波印加方式には,ダイオード型の有電極方式と無電極(コイルや外部電極)方式がある。試料へのプラズマダメージを低減する目的でマイクロ波励起型のダウンフロー型やHEとの複合型もある。 ア行TOPに戻る 【圧 縮 比 (compression ratio) 】 ポンプに気体を流入したときの背圧の増加分を吸入圧の増加分で除した値。 (量記号:γ) ア行TOPに戻る 【圧 力 (pressure) 】 空間内のある点を含む仮想の微小平面を両側の方向から通過する分子によって,単位面積当たり,単位時間に輸送される運動量の面に垂直な成分の総和。空間内に定常的な気体の流れがあるときは,流れの方向に対して面の傾きを規定する。(量記号:p,P,単位記号:Pa) ア行TOPに戻る 【圧力計 (pressure gauge) 】 気体・蒸気の圧力を測定する計器。 ア行TOPに戻る 【圧力上昇試験 (pressure rise test,build-up test) 】 排気された系をポンプから切り離し,その中における圧力上昇速度を観測して系内に漏れがあるか否か,あるいはそのだいたいの大きさを知る試験。 ア行TOPに戻る 【油純化器 (oil purifier) 】 ポンプ油から種々の汚染物質を除去するための装置。 ア行TOPに戻る 【油トラップ (oil trap) 】 機械ポンプまたは油圧計と真空系との間におかれる容器であって,事故によって油が真空系などに逆流するのを防ぐ目的を有する。 ア行TOPに戻る 【油分離器 (oil separator) 】 真空ポンプの排気口において,気体とともに輸送されるポンプ油の損失を減少させるための装置。 ア行TOPに戻る 【あら(粗)引き配管 (roughing line) 】 機械ポンプなどから直接真空槽につながる配管であって,この管を通して低真空領域での予備排気が行われる。 ア行TOPに戻る 【あら(粗)引きバルブ (roughing valve) 】 あら引き配管途中に設けてあるバルブであって,真空槽とあら引きポンプとの間の連絡を断ちたいときに用いる。 ア行TOPに戻る 【粗引きポンプ (roughing vacuum pump) 】 大気圧から生ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための真空ポンプ。 ア行TOPに戻る ◇イ◇ 【ECRプラズマ (ECR plasma) 】 有磁場中でサイクロトロン運動する電子に高周波電界を周期加速して誘起されたプラズマ。磁場中電子のマイクロ波共鳴吸収を利用すると低ガス圧,高活性,高イオン化率の特長を持つプラズマが生成されるため生成された活性種やイオンを用いて,注入,CVD,エッチング,スパッタリング技術に応用される。 ア行TOPに戻る 【イオン浸炭,イオン窒化 (ion carbaring ion nitriding) 】 被処理物を真空雰囲気中で加熱し,浸炭(窒化)温度になると,炭化水素系(窒素あるいはアンモニア)のガスを導入すると共に,被処理物(陰極)と陽極の間に直流高電圧を印加してグロー放電をおこさせ,生じたイオンを被処理物に衝突させて浸炭(窒化)を行う方法。 ア行TOPに戻る 【イオンビームエッチング (ion beam etching) 】 イオン源から引き出され,加速されたイオンビームのスパッタリング反応により,試料を加工する技術。アルゴン等の不活性ガスを用いたイオンビームエッチングに加えて反応性ガスを用いたRIBE(リアクティブ・イオンビーム・エッチング)も用いられる。 ア行TOPに戻る 【イオンビーム蒸着法 (ion beam deposition) 】 イオンビームスパッタ蒸着(IBSD)法,イオンビーム直接蒸着(IBD)法,イオンビームアシスト蒸着(IBAD)法,クラスターイオンビーム蒸着(ICB)法の4種類がある。IBSD法はイオンビームでターゲット材を衝撃し,スパッタして堆積する方法。IBD法は,イオンビームと反応性ガスを化学反応させて薄膜を得る方法。IBAD法は,真空蒸着中に低エネルギーイオンビームを照射し所望の薄膜特性を向上させる方法。ICB法は,ノズルから蒸発元素を噴射させて,クラスター(500〜1000個の原子が緩く結合した状態)化し,その後イオンクラスター化して薄膜を得る方法で運動エネルギーを制御できる。 ア行TOPに戻る 【イオンプレーティング (ionplating) 】 基板を陰極側に置き,グロー放電をおこさせ,蒸発源より蒸発させたメッキ原子をイオン化または励起させてグロー放電で純物質の膜を得る方法と,反応性ガスを導入して,化合物の膜を得る方法がある。 ア行TOPに戻る ◇ウ◇ 【ウイルソン封じ (Wilson seal) 】 回転軸封じの一種であって,軸径より小さい直径の孔のあいた平板パッキングを軸にはめこみ。パッキングを軸面に線接触させることにより,軸との気密を得るようにした封じ。ウイルソン封じは軸をその長さ方向にも移動させることにも利用される。また2枚のパッキングの間に金属スペ―サを入れて別に配置して用いることもよく利用される。 ア行TOPに戻る 【運動量輸送式真空ポンプ (kinetic vacuum pump) 】 気体に特定方向の運動量を与えて連続的に気体輸送を行う真空ポンプ。流体作動方式と機械的方式の二つに大別する。 ア行TOPに戻る ◇エ◇ 【エアインレッドバルブ (air inlet valve) 】 真空内に気体を導入するバルブ。ベントバルブあるいはリークバルブとも呼ばれる。 ア行TOPに戻る 【エキストラクタ真空計 (extractor gauge) 】 シールドに囲まれた集イオン電極を円筒状グリッドの軸に沿い,その外側に置くことによってX線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。 ア行TOPに戻る 【液体ジェット(真空)ポンプ,水エジェクタ(ポンプ) (liquid jet vacuum pump) 】 作動流体が液体(通常は水)であるエジェクタ真空ポンプ。 ア行TOPに戻る 【液柱差真空計 (liquid level manometer) 】 隔離媒体として液柱を用いる差圧真空計。 ア行TOPに戻る 【液封真空ポンプ (liquid ring vacuum pump) 】 多数の羽根をもつ偏心ロータの回転によって液体をステータ内壁に押し付けてシールを行い,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 ア行TOPに戻る 【エジェクタ(真空)ポンプ (ejector vacuum pump) 】 高速で噴出する作動流体の巻込み作用によって気体輸送を行う連動量輸送式真空ポンプ。粘性流または中間流領域で有効に作動する。 ア行TOPに戻る 【X線限界 (X-ray limit) 】 熱陰極電離真空計で,主として集イオン電極から放出される光電子電流に対応する窒素相当圧。 ア行TOPに戻る 【L-リングガスケット (L-ring gasket) 】 断面がL字型のガスケットで,ベルジターまたはフランジなしの管の外側や下側の縁に被せて用いる。 ア行TOPに戻る 【円錐封じ (cone seal) 】 円錐状磨合せ面と油留めを備えた金属と金属との気密封じ。 ア行TOPに戻る ◇オ◇ 【応答時間 (response time) 】 漏れ孔を探索気体で覆った後,漏れ捜し器あるいは漏れ捜し器系の指度がその最大値(気体を試験中の系にいつまでも与えたときに達せられる値)の63%(=1-1/e)に達するまでに要する時間。 ア行TOPに戻る 【置換感度係数 (substitution sensitivity factor) 】 漏れのあるときの真空計の空気に対する指度をDAそれを探索気体で置換して十分時間が経過したときの真空計の指度をDP漏れを閉じたときの指度をD0とすれば置換感度係数(φ)=(DP-DA)/(DA-D0)。 ア行TOPに戻る 【オメガトロン(質量分析計)形分圧真空計（omegatron mass spectrometer）】 直交した高周波電界および静磁界の中でのイオンのサイクロトロン共鳴現象を利用して,イオンを分離する質量分析計形分圧真空計。 ア行TOPに戻る 【O-リングガスケット (O-ring gasket) 】 断面が円形で,全体が円形のガスケット。真空装置に多用されている。エラストマはバイトン(フッ素ゴム,200℃程度まで使用可)とネオプレン(ニトリルゴム,80℃)が代表的。メタルは,メタル中空Oリング,へリコフレックス(コイルスプリング内蔵,メタルOリング)などがある。 ア行TOPに戻る [目次][ア行][カ行][サ行][タ行][ナ行][ハ行][マ行][ヤ行][ラ行][ワ行]

© Copyright 2001-2006 ULVAC CORPORATE CENTER Marketing Division All Right Reserved.