真空辞典

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◇C◇

【chemical adsorption;chemisorption (化学吸着)】

化学結合を伴う吸着。

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【chevron seal (シェブロン封じ)】

a) 数個のV字型パッキングを順次重ねたものからなる封じ。
b) 数個のパッキングをスペーサなしに重ねたものからなる変形ウイルソン封じ。

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【clean‐up time (回復時間)】

探索気体を検査中の真空系に与えるのを止めたときそれまで示していた漏れ捜し器の出力37%(=1/e)に減少するまでに要する時間。

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【cold cathode ionization gauge (冷陰極電離真空計)】

冷陰極放電による気体の電離を利用する電離真空計。

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【cold trap (冷却トラップ)】

冷却面における凝縮作用を利用するトラップ。

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【cold trap (冷却トラップ)】

寒剤を入れるように設計された容器,あるいは寒剤がコイル中を循環して冷却するようになっている容器であって,真空にさらされた表面で真空装置内の蒸気などを凝縮されることを目的として真空系内に挿入されるもの。

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【collision rate (衝突頻度)】

気体(一般には粒子の集合系)の中を自由に動き回る粒子が単位時間に受ける衝突の平均回数。 (量記号:ψ,単位記号:s-1) 参考 衝突に関与する粒子の種類を指定することがある。

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【compression gauge (圧縮真空計)】

気体を既知の比率で圧縮し,その圧力を測定して圧縮前の圧力を求める真空計。備考 ボイルの法則が適用できる場合にだけ用いる。

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【compression ratio (圧 縮 比)】

ポンプに気体を流入したときの背圧の増加分を吸入圧の増加分で除した値。 (量記号:γ)

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【condensation coefficient (凝縮係数)】

凝縮速度と入射頻度または入射速度との比。無次元量である。 (量記号:c)

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【condensation rate (凝縮速度)】

表面の単位面積当たりに単位時間に凝縮する分子の数または物質の量。

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【conductance (コンダクタンス)】

流量をオリフィスの両側,導管などの二つの断面における圧力差で除した量。この場合,等温条件を仮定している。 (量記号:C,U,G,単位記号:m3s-1)

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【cone seal (円錐封じ)】

円錐状磨合せ面と油留めを備えた金属と金属との気密封じ。

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【conflat flange (コンフラットフランジ)】

ナイフエッジの先端が金属ガスケット(通常無酸素銅)に食い込みシールされるメタルシール方式のフランジ。ベーキング可。超高真空に用いられる。

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【critical backing pressure (臨界背圧)】

蒸気噴流または蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維持できる最大の背圧。(量記号:pbc,単位記号:Pa)。備考 ポンプの排気量に関係する値。

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【cryopump (クライオポンプ)】

気体分子を極低温面に凝縮または収着させて捕捉する気体ため込式真空ポンプ。

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【cryosorption pump (クライオソープションポンプ)】

収着を主な排気作用とするクライオポンプ。

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