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| ◇E◇
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| 【ECR
plasma （ECRプラズマ）】 有磁場中でサイクロトロン運動する電子に高周波電界を周期加速して誘起されたプラズマ。磁場中電子のマイクロ波共鳴吸収を利用すると低ガス圧,高活性,高イオン化率の特長を持つプラズマが生成されるため生成された活性種やイオンを用いて,注入,CVD,エッチング,スパッタリング技術に応用される。 TOPに戻る |
| 【ejector
vacuum pump （エジェクタ(真空)ポンプ）】
高速で噴出する作動流体の巻込み作用によって気体輸送を行う連動量輸送式真空ポンプ。粘性流または中間流領域で有効に作動する。 TOPに戻る |
| 【elastic
element gauge （弾性真空計）】
弾性体(板,管など)を隔離媒体とした差圧真空計。 TOPに戻る |
| 【entrapment
vacuum pump;capture vacuum pump （気体ため込式真空ポンプ）】
表面での収着または凝縮などによって気体分子を捕捉し。ため込むことによって排気作用を行う真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【equivalent
nitrogen pressure （窒素相当圧,窒素換算値）】
真空計の読みと同じ指示を与える窒素の圧力。 TOPに戻る |
| 【evaporation
ion pump （蒸着イオンポンプ）】
連続または非連続的な昇華。蒸発によってゲッタ面を更新するゲッタイオンポンプ。 TOPに戻る |
| 【evaporation
rate （蒸発速度）】 表面の単位面積から単位時間に蒸発する分子の数または物質の量。 TOPに戻る |
| 【extractor
gauge （エキストラクタ真空計）】
シールドに囲まれた集イオン電極を円筒状グリッドの軸に沿い,その外側に置くことによってX線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。 TOPに戻る |
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