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| ◇ハ◇
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| 【ハーメチック封じ
(hermetic seal)】 非常に敏感な漏れ捜し器,たとえばへリウム漏れ捜し器をもってしても漏れ孔が検出されないような封じ。 ハ行TOPに戻る |
| 【背
圧 (backing pressure)】
気体を大気圧以下の圧力空間に排出する場合の真空ポンプの排気口での圧力。 (量記号:pb,単位記号:Pa) ハ行TOPに戻る |
| 【背圧維持ポンプ
(holding vacuum pump)】
主ポンプのガス負荷が小さい場合,正規の補助ポンプに代わって,主ポンプの背圧を維持するために用いる補助ポンプ。 ハ行TOPに戻る |
| 【配
管 (line,pipe,connection)】
真空装置の構成要素をつないでいる管。 ハ行TOPに戻る |
| 【排
気 口 (outlet)】 ポンプの気体吐出し口。 ハ行TOPに戻る |
| 【バイパス配管
(by-pass line)】 あら引きポンプがあら引き終了後も他のポンプの補助ポンプとして使用される場合,あら引き配管につけられる名称であって,別に設けられた補助真空側配管を意味している。 ハ行TOPに戻る |
| 【ハウスキーパ封じ
(housekeeper seal)】
ガラスと銅または他の適当な金属のナイフエッジとの間のガラス対金属気密封じ ハ行TOPに戻る |
| 【パスカル
(pascal)】 国際単位系の圧力単位の名称。(単位記号:Pa) 1Pa=1N・m-2 ハ行TOPに戻る |
| 【裸真空計(測定子)
(nude gauge)】 真空系に直接挿入される感圧素子を備えた,外囲器がない測定子。 ハ行TOPに戻る |
| 【バタフライバルブ(quarter
swing valve,flap valve, butterfly valve)】
バルブ・ディスクをシートに対して90°回転させることによって,開閉が行われる機構のバルブ。回転軸がディスクの縁近くにあればフラップ・バルブと呼ばれ,回転軸がディスクの中心を通っておればバタフライバルブと呼ばれている。 ハ行TOPに戻る |
| 【パッキング
(packing)】 回転軸その他の可動部分と装置部との間隙に詰めて気密を保たせるもの。 ハ行TOPに戻る |
| 【パッキング付バルブ
(packed valve)】 バルブ軸とボンネットとの間にパッキングを入れて軸がボンネットを通り抜けるところにおける気密を保たせるようにしたバルブ。 ハ行TOPに戻る |
| 【パッキングなしバルブ
(packless valve)】 バルブ軸とボンネットとの間の密封がパッキング付バルブのように国体間の滑りによらず完全な密封を行っているバルブ。ベローバルブ,隔離バルブなどがこれに属する。 ハ行TOPに戻る |
| 【バック・グラウンド
(background)】 漏れ捜し器の場合,実際に探索に用いている気体以外の他の気体に応答することによる擬似出力であって適当な項で表されるもの。バック・グラウンドは,漏れ捜し器に固有なものであることもあり,偶発的に生ずることもある。 ハ行TOPに戻る |
| 【バックシートガスケット
(backseat gasket)】 バルブを開いたとき,ボンネットあるいは軸から漏れがないようにするためバルブディスクの裏につけるガスケット。 ハ行TOPに戻る |
| 【バッフル
(baffule)】 蒸気噴射真空ポンプの吸気口および排気口に取り付けられ,作動液蒸気の逆流および流出を防ぐための邪魔板。 ハ行TOPに戻る |
| 【バッフルバルブ
(baffle valve)】 バルブを開けたときに開口からの流れがディスクにまともに当たるように向いていて,ディスクがバッフル(じゃま板)の役をも兼ねているようなバルブ。 ハ行TOPに戻る |
| 【バラストタンク
(ballast tank)】 補助真空側配管用バルブと蒸気噴射ポンプなどとの間に置かれる容器であって,補助ポンプを臨時に止めるとき蒸気噴射ポンプの排気ガスの溜りとなるもの。 ハ行TOPに戻る |
| 【バルブ(弁)
(valve)】 流体の流量を制御したり,または完全に止めたりする装置・普通は本体,ボンネットおよび軸の3要素からなる。ニューマチックバルブ(pneumatic valve)は圧空で作動するバルブであり,遠隔操作可能.電気で作動する電磁弁(solenoid valve)と並んで,自動化された真空装置に多用されている。 ハ行TOPに戻る |
| 【バルブ本体
(body(of a valve))】
流体が外から入る口と,外ヘ出る口のついているバルブの部分。 ハ行TOPに戻る |
| 【バルブシート(弁座)
(seat(of valve))】 バルブボートの周囲にあって,流れを止め,気密封じをするための本体側の面。 ハ行TOPに戻る |
| 【ハロゲン漏れ捜し(halogen
leak detector,halide leak detector)】
ハロゲン元素を含む探索気体に感ずる漏れ捜し器。ハロゲン分子が加熱された白金陽極に当たったとき,それから陽イオン放射が増す現象を利用している。 ハ行TOPに戻る |
| 【反応性スパッタエッチング
(reactive sputter etching)】
反応性ガス雰囲気のグロー放電中に試料を置き,活性化原子(ラジカル)との化学反応力まび高速イオン(数ev〜数百ev)によるスパッタリング反応(イオンアシスト反応を含む)により試料を加工する方法。リアクティブイオンエッチング(HE)法ともよばれる。おもに半導体素子の形成に応用されるサブミクロンのパター ンを高異方性に加工できる。電極間が5〜10m程のナローギャップ法やマグネトロン放電を利用した有磁場HE法も利用されている。 ハ行TOPに戻る |
| ◇ヒ◇
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| 【pＶ
値 (quantity of gas)】
気体の体積と圧力の積。(単位記号:Pa・m3) ハ行TOPに戻る |
| 【比
感 度 (relative sensitivity factor)】
真空計のある気体に対する感度と,その真空計の同一条件下における同一圧力の 窒素に対する感度との比。(量記号:r) ハ行TOPに戻る |
| 【非凝縮性気体
(non-condensable gas)】
温度がその物質の臨界温度以上になっていて,圧力の増加だけでは凝縮相に変化させることができない気体。 ハ行TOPに戻る |
| 【飛行時間(質量分析計)形分圧真空計(time
of night mass spectrometer)】
等しい運動エネルギーをもつイオンの飛行速度が質量に依存することを利用して,イオンを分離する質量分分析計形分圧真空計。 ハ行TOPに戻る |
| 【ピストン真空ポンプ
(piston vacuum pump)】
シンリダ内でのピストンの往復運動によって気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 ハ行TOPに戻る |
| 【標準漏れ孔
(standard leak)】 一端が大気圧,他端が真空のとき,ある気体について漏れ孔を通して特定の速さで漏りが起こるような装置。このときの他端の圧力は十分低くて漏りの早さに影響しないくらいのものとする。 ハ行TOPに戻る |
| 【表面移動
(migration)】 表面上における分子の移動。 ハ行TOPに戻る |
| 【ピラニ真空計
(Pirani gauge)】 加熱されている素子が金属細線で,その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計。 ハ行TOPに戻る |
| ◇フ◇
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| 【ブースタ(真空)ポンプ
(booster vacuum pump)】
中間圧力領域での排気量を増加させるか,または排気系各部の段階的圧力分布を改善して補助ポンプに対する体積流量を減少させるために主ポンプと補助ポンプとの間で用いる真空ポンプ。 ハ行TOPに戻る |
| 【フード試験法
(hood test)】 真空試験法を適用しようとする目的物に"フード"(覆い)を被せ,その中に満たした探索気体が系内に入ることによって被試験体の全体を一度に試験する方法。 ハ行TOPに戻る |
| 【V-リングガスケット
(V-ring gasket)】 断面がV字型のガスケット。 ハ行TOPに戻る |
| 【封
止 蓋 (blank-off plate,cover plate)】
漏れ捜しのために真空にしようとする容器の開口を塞ぐのに用いる板。 ハ行TOPに戻る |
| 【フォアライントラップ
(fore-line trap)】 真空装置を油回転ポンプで排気するとき,ポンプの油蒸気を高真空系に逆流させないためのトラップ。 ハ行TOPに戻る |
| 【吹
付 管 (probe)】 一方の口が細い孔になっている管であって,探索気体の流れを一方向に向けるのに用いる。 ハ行TOPに戻る |
| 【吹付管試験法
(probe test)】 探索気体で覆われる面積が局部的になるように吹付管でその気体を吹きつける漏れ捜し試験法。これによって個々の漏れ孔の場所を見つけることができる。 ハ行TOPに戻る |
| 【不飽和蒸気
(unsaturated vapour)】
ある温度において飽和蒸気圧より低い圧力を示す蒸気。 ハ行TOPに戻る |
| 【付着確率
(sticking probability)】
付着速度と入射頻度または入射速度との比。無次元量である。 (量記号:s) ハ行TOPに戻る |
| 【付着速度
(sticking rate)】 表面の単位面積当たりに単位時間に化学吸着される分子の数または物質の量。 ハ行TOPに戻る |
| 【物理吸着
(physical adsorption;physisorption)】
化学結合を伴わない物理的な力による吸着。 ハ行TOPに戻る |
| 【プラグバルブ
(plug valve)】 プラグ(栓)がバルブ本体またはバレル(通常テーパのついている円錐形部分)を回転することができるバルブ。プラグ内の孔はバルブを開放した位置で本体内の対応した孔と位置を一致させるようになっている。 ハ行TOPに戻る |
| 【プラズマ
(plasma)】 異符号の電荷を有する2種以上の荷電粒子群を含みそのうち少なくとも1種の荷電粒子群が不規則な熱運動を行っている系において,二つの荷電粒子間の相互作用がおよぶ平均距離より,十分大きな寸法をもった体積部分。 ハ行TOPに戻る |
| 【プラズマエッチング
(plasma etching)】 反応性ガスによる低温プラズマ中の活性化原子(ラジカル)と試料との化学反応により揮発性化合物を作り試料と加工する技術。 ハ行TOPに戻る |
| 【プラズマ酸化
(plasma oxidation)】
プラズマにより励起した酸素によって,化合物半導体などを低温で陽極酸化し,酸化膜を形成する方法。 ハ行TOPに戻る |
| 【プラズマCVD
(plasma CVD)】 プラズマにより反応性ガスを励起させ,化学反応を促進させることにより,非晶質の薄膜を堆積させる方法。低温(200〜450℃)で堆積でき,ステップカバレジのよいこと,大面積化に対応できる等の特長がある。太陽電池や薄膜デバイスの非晶質シリコンとして電極,配線材料あるいはシリコン窒化物,酸化物等の絶縁薄膜を得る方法として用いられる。 ハ行TOPに戻る |
| 【フラップガスケット
(flap gasket)】 大きな輪状平板ガスケットで,その外径が管またはベルジャーの端よりも大きく,内径は小さいもの。フランジ,または基板との間の真空気密を保たせるために,ガスケットの縁が外方に曲げられて管に密着するようなもの。 ハ行TOPに戻る |
| 【フランジ
(flange)】 管や装置,部品の接合部に付けられた帽子のつばのようなもの。ガスケットをはさんでボルトでしめ,気密に保たせる。真空フランジの規格はJISV2290。 ハ行TOPに戻る |
| 【ブルドン管真空計
(Bourdon gauge)】 可とう隔膜としてブルドン管を用いる弾性真空計。 ハ行TOPに戻る |
| 【プローブガス
(probe gas)】 探索気体であって特に細い口から噴き出させ,限られた試験面積に当たるようにしたもの。 ハ行TOPに戻る |
| 【分
圧 (partial pressure)】
混合気体中の特定成分の圧力。(量記号:成分iに関してはp,単位記号:Pa) ハ行TOPに戻る |
| 【分圧(真空)計,真空分析計(partial
pressure vacuum gauge;partial pressure analyser)】
混合気体の成分の分圧を測定する真空計。参考 現用されている分圧真空計のほとんどは質量分析計の一種である。 ハ行TOPに戻る |
| 【分子蒸留
(molecular distillation)】
蒸発面と凝縮面を残留気体の平均自由行路以内の距離に保って真空蒸留を行う。理論的には蒸発した蒸留物質は分子間衝突により蒸発面に戻ることがないことから高い蒸留効率が得られる。一般に蒸留容器内の残留ガスの圧力は平均自由行路との関係で1×1O-3Pa程度が必要である。ビタミンA,E,K,モノグリセライド,高分子物質などの蒸留に使用されている。 ハ行TOPに戻る |
| 【分子線エピタキシャル(MBE)法
(molecular beam epitaxy)】
超高真空中で加熱した結晶基板上に,複数の蒸発源から分子(原子)線を蒸発させ元素固有の付着係数の差を利用し,化学量論的組成比を保ちつつ薄膜成長させる方法。原子層オーダーの制御が可能。化合物半導体の結晶成長や機能性材料の研究開発に利用されるが一般に生産性が低いのが欠点である。 ハ行TOPに戻る |
| 【分子ふきだし,分子噴流
(molecular effusion；effusive flow)】
厚さを無視できるオリフィスにおいて,気体分子の平均自由行程が,オリフィス開口の最大寸法より十分に大きい場合の気体の流れ。 ハ行TOPに戻る |
| 【分子ポンプ
(molecular drag pump)】
高速回転するロータによってその表面に衝突した気体分子に運動量を与え,気体輸送を行う連動量輸送式真空ポンプ。分子流領域で有効に作動する。 ハ行TOPに戻る |
| 【分
子 流 (molecular flow)】
気体分子の平均自由行程が導管断面の最大寸法よりも十分に大きい場合(クヌーセン数が大きい場合)の導管内の気体の流れ。 ハ行TOPに戻る |
| 【分子流量,分子束
(molecule flow rate； molecule flux)】
空間内のある面を単位時間に通過する気体分子の正味の数。(量記号:qN,単位記号:s-1) ハ行TOPに戻る |
| 【分子流量密度
(molecule flow rate density)】
単位面積当たりの分子流量。(単位記号:m-2・s-1) ハ行TOPに戻る |
| 【分留形油拡散ポンプ
(fractionating diffusion pump)】
ポンプ作動液の分留が行われ,高真空側ノズルには低蒸気圧成分が,低真空側ノズルには高蒸気圧成分が供給されるような多段式の油拡散ポンプ。 ハ行TOPに戻る |
| ◇ヘ◇
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| 【平均自由行程
(mean free path)】 気体(一般には粒子の集合系)の中を自由に動き回る粒子(分子・原子・電子・イオン・中性子など)が同種または異種の粒子と次々に衝突する場合,相続く衝突間に粒子が飛行した距離の平均。(量記号:λ,l,単位記号:m) ハ行TOPに戻る |
| 【(平均)滞留時間,(平均)滞在時間
(residence time)】 分子が表面に吸着状態で束縛されている時間の平均。 (量記号:τ,単位記号:s) ハ行TOPに戻る |
| 【平板ガスケット
(flat gasket)】 平板材料から切り出したガスケット。 ハ行TOPに戻る |
| 【ペニング真空計
(Peming gauge)】 一対の平行平板陰極間に環状陽極を置き,それらの軸に平行に磁界をかける冷陰極電離真空計。 ハ行TOPに戻る |
| 【べヤード-アルパート真空計,B-A真空計
(BayardーAlpertgauge)】
円筒状グリッドの外側に熱陰極を,また軸上に細線の集イオン電極を配置して,X線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。 ハ行TOPに戻る |
| 【ヘリウムドリフト
(helium drift)】 ヘリウム吹付管で漏れ捜しを行う場合に,へリウムが吹付管の先端よりかなり遠くの漏れ孔に流れていって,検査している人に吹付管の附近を間違って疑わしく思わせること。 ハ行TOPに戻る |
| 【ヘリウムリークディテクター
(helium leak detector)】
探索気体にのみ応答するように調整された質量分析計。探索気体として普通にへリウムが用いられるので,この器械をへリウム漏れ捜し器と呼ばれている。 ハ行TOPに戻る |
| 【ベローズ
(bellows)】 周期的に口径を変化させたうす肉厚(金属)管。可撓性を持ち,振動伸縮の吸収,配管作業の簡便化,軽量化等に用いられる。成形・溶接・電着等により製造される。 ハ行TOPに戻る |
| 【ベローバルブ
(bellows sealed valve)】
バルブ軸の気密がベローで保たれているようなバルブであって,この一端は軸のディスク側末端に,他端はボンネットまたは本・体のいずれかに取り付けられる。 ハ行TOPに戻る |
| ◇ホ◇
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| 【ポート
(port)】 a) バルブ本・体内にある可変開口であって,それを通ってバルブの入口から出口ヘ流体が流れる。 b)真空系を構成している部分の入口または出口にある開口であって,それを通して気体が流れる。 ハ行TOPに戻る |
| 【ボールバルブ
(ball valve)】 鉄球がバルブ本体内で回転することができて,球の通路が入口と出口の開口と同軸にある。 ハ行TOPに戻る |
| 【ポアズイユの流れ
(Poiseuille flow)】 円形断面の長い導管を通る粘性層流(レイノルズ数が小さい場合)。 ハ行TOPに戻る |
| 【放
出 弁 (discharge valve)】
容積移送式真空ポンプで圧縮された気体を放出させるための自動弁。 ハ行TOPに戻る |
| 【飽和蒸気
(saturated vapour)】
ある温度において飽和蒸気圧に等しい圧力を示す蒸気。 ハ行TOPに戻る |
| 【飽和蒸気圧
(saturation vapour pressure)】
その温度で凝縮相と熱力学的平衡に達している蒸気が示す圧力。(量記号:pi,単 位記号:Pa) ハ行TOPに戻る |
| 【飽
和 度 (degree of saturation)】
ある温度における蒸気の圧力とその飽和蒸気圧との比。 ハ行TOPに戻る |
| 【捕集プローブ
(sampling probe,pressure probe,sniffer)】
加圧試験法において,試験体の限られた面積から漏れてくる探索気体を集め,こ れを漏れ捜し器に導くための器具(装置)。 ハ行TOPに戻る |
| 【補助真空側配管
(fore line)】 主動ポンプと補助ポンプとの間をつなぐ配管。 ハ行TOPに戻る |
| 【補助真空側配管用バルブ
(fore-line valve)】 主動ポンプとその補助ポンプとの間の連絡を切るこのができるために補助真空 側配管途中に入れてあるバルブ。 ハ行TOPに戻る |
| 【保護真空引口
(pump-out)】 二重パッキングまたはガスケット間の空間を排気するための引口であってガス ケットの漏れ検査に使用される。 ハ行TOPに戻る |
| 【補助ポンプ
(backing vacuum pump)】
他のポンプの背圧を臨界値以下に維持するための真空ポンプ。 ハ行TOPに戻る |
| 【ボンネット(ふた)
(bonnet(of a valve))】
バルブ軸が外部から中ヘ通っているバルブの一部であって本体に固く取り付け てある。 ハ行TOPに戻る |
| 【ボンネットガスケット
(bonnetgasket)】 ボンネットをバルブ本体に取り付けるとき,その間に入れて気密を保たせるガス ケット。 ハ行TOPに戻る |
| 【ポンプケース,ポンプケ―シング
(pump case)】 ポンプの作動部分を収めている容器。 ハ行TOPに戻る |
| 【(真空)ポンプ油
(vacuum pump oil)】 真空ポンプで潤滑,冷却,気密または無効空間の減少のために用いる油。 ハ行TOPに戻る |
| 【ポンプ作動液
(pump fluid)】 蒸気噴射真空ポンプの作動用液体。 ハ行TOPに戻る |
| 【ポンプの排気速度,ポンプの体積流量(pumping
speed;volume flow rate of a vacuum pump)】
ポンプの吸気口を通る気体の体積流量。 (量記号:S,単位記号:m3・s-1) ハ行TOPに戻る |
| 【ボンプの排気量
(throughput of a vacuum pump)】
ポンプの吸気口を通る気体の流量。(量記号:Q,単位記号:Pa・m3・s-1) ハ行TOPに戻る |
| 【ポンプの到達圧力
(ultimate pressure of a pump)】
気体を導入せずにポンプを長時間作動させ,圧力の減少がほとんど無視できるよ うになったときの圧力。(量記号:pu,単位記号:Pa) ハ行TOPに戻る |
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