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| ◇カ◇
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| 【加圧試験法
(pressure testing) 】
検査しようとする容器内に圧力を加えて探索気体を詰め込み,漏れ孔から出てくる気体を検知することによって漏れ捜しする方法。 カ行TOPに戻る |
| 【ガイスラ管
(discharge tube indicator) 】
一対の電極をもち,その間の真空放電の色および形状によって気体の圧力および種類の概略を示す透明なガラス管球。 カ行TOPに戻る |
| 【回転真空封じ
(rotary vacuum seal) 】
回転軸が真空系に入るところで漏れのないようにした封じ。磁性流体封じ,回転軸封じの一種。軸に近接した磁極間に磁性体の超微粒子を分散させた溶媒が束縛され,これによりシールされる。 カ行TOPに戻る |
| 【回転翼形油回転(真空)ポンプ
(sliding vane rotary vacuum pump) 】
ばねによって常にステータに押し付けられている2枚またはそれ以上の翼板をもつロータの回転によって,翼板,ロータおよびステータで囲まれた空間の容積を変化させて,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【回復時間
(clean‐up time) 】 探索気体を検査中の真空系に与えるのを止めたときそれまで示していた漏れ捜し器の出力37%(=1/e)に減少するまでに要する時間。 カ行TOPに戻る |
| 【化学吸着
(chemical adsorption;chemisorption) 】
化学結合を伴う吸着。 カ行TOPに戻る |
| 【拡
散 (diffusion) 】 気体が媒質中における濃度こう配によって移動すること。備考 媒質は他の気体(この場合を相互拡散という)。または凝縮相である。 カ行TOPに戻る |
| 【拡散エジェクタポンプ
(diffusion-ejector pump) 】
拡散ポンプとして働くノズルとエジェクタポンプとして働。ノズルとをもつ多段式の蒸気噴射真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【拡散係数
(diffusion coefficient;diffusivity) 】
拡散の分子流量密度を密度のこう配で除した値。(量記号:D,単位記号:m2・s-1) カ行TOPに戻る |
| 【拡散ポンプ
(diffusion pump) 】 蒸気噴流中に拡散した気体分子に蒸気分子が運動量を与えることによって気体輸送を行う蒸気噴射真空ポンプ。備考 ポンプの作動蒸気としては,一般に油または水銀の蒸気が用いられ,油拡散ポンプ, 水銀拡散ポンプなどと呼ばれる。 カ行TOPに戻る |
| 【ガスケット
(gasket) 】 取り換えのできる真空封じ装置であって,通常輪状金属またはエラストマ(ゴムなど)からなり。フランジその他,これに類するものの間に用いられる。 カ行TOPに戻る |
| 【ガスケット封じ
(gasket seal) 】 気密封じをしようとする部品の間にガスケットを入れ,それを圧縮して気密を保たせること。 カ行TOPに戻る |
| 【ガスバラスト(真空)ポンプ
(gasballast(vacuum) pump) 】
適量の気体を圧縮過程でポンプ内に導入し,ポンプ内部で凝縮性気体が凝縮しないようにした容積移送式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【隔膜真空計
(diaphragm gauge) 】
可とう隔膜を用いて圧力空間を仕切る弾性真空計。 カ行TOPに戻る |
| 【隔膜バルブ
(diaphragm valve) 】
薄い可携性円板の周囲がバルブ本体とボンネットとの間でしめつけられ,ボンネットと軸の両方のところで漏れがないようにしたバルブ。可撓性薄板が用いられているので軸が上下に動かせる。 カ行TOPに戻る |
| 【カム形油回転(真空)ポンプ
(rotary piston vacuum pump) 】
偏心ロータ(カム)がステータについているしゆう動翼板によって押さえつけられながら回転し,翼板,ロータおよびステータで囲まれた空間の容積を変化させて,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【ガラス対金属封じ
(glass-to metal seal) 】
ガラスが直接金属に溶着した真空気密封じ。 カ行TOPに戻る |
| 【乾式回転(真空)ポンプ
(dry-sealed vacuum pump) 】
油や液体を使用しないで気密を保つ容積移送式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【感
度 (sensitivity) 】 ある圧力のとき,真空計に指示された読みの変化と相当する圧力変化との比。 カ行TOPに戻る |
| 【(電離真空計の)感度係数
(ionization gauge coefficient) 】
与えられた気体に対して,電離真空計の定められた動作条件の下でのイオン電流を,イオン化のための電子電流と圧力との積で除したもの。(量記号:K,単位記号:Pa-1) カ行TOPに戻る |
| ◇キ◇
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| 【気
体 (gas) 】 見掛け上,分子が分子問力によって運動の制限を受けないで空間を自由に満たせる状態にある物質。備考 真空技術・真空工業では"気体"という言葉は非凝縮性気体力よび蒸気の両方を表している。 カ行TOPに戻る |
| 【気体ジェット(真空)ポンプ、空気エジェクタ(ポンプ)
(gas jet vacuum pump) 】
作動流体が非凝縮性気体(通常は空気)であるエジェクタ真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【気体ため込式真空ポンプ
(entrapment vacuum pump;capture vacuum pump) 】
表面での収着または凝縮などによって気体分子を捕捉し。ため込むことによって排気作用を行う真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【気体の標準状態
(standard reference conditions for gases) 】
気体論における気体の標準条件を与えるもので,温度0℃,圧力101325Pa(1標準気圧)の状態。 カ行TOPに戻る |
| 【(気体の)流量
(throughput) 】 導管のある断面またはオリフィスを単位時間に通過するpV値。 (量記号:Q,単位記号:Pa・m-3・s-1) カ行TOPに戻る |
| 【気体分子密度
(number density of molecules) 】
気体分子の単位体積当たりの数。 (量記号:n,単位記号:m-3) カ行TOPに戻る |
| 【気体放出
(outgassing) 】 物質からの気体の放出。 カ行TOPに戻る |
| 【気体放出速度
(outgassing(or desorption,or degassing)rate) 】
物質の単位表面積から単位時間に放出されるpV値または分子の数。(量記号:qd,単位記号:Pa・m・s-1,m-2・s-1) カ行TOPに戻る |
| 【気
密 (air tight) 】 与えられた仕様による漏れ孔がないこと。 カ行TOPに戻る |
| 【オメガトロン(質量分析計)形分圧真空計（omegatron
mass spectrometer）】
直交した高周波電界および静磁界の中でのイオンのサイクロトロン共鳴現象を利用して,イオンを分離する質量分析計形分圧真空計。 カ行TOPに戻る |
| 【逆
移 動 (back-migration) 】
真空ポンプの作動液分子が,容器の壁面上における再蒸発および表面拡散によって,高真空側へ移動する現象。 カ行TOPに戻る |
| 【逆
拡 散 (back-diffusion of gas) 】
真空ポンプの作動状態において,ポンプの排気口から吸気口へ向かう気体の移動。 カ行TOPに戻る |
| 【逆
流 (back-strearning) 】
真空ポンプの吸気口を通って高真空側へ向かうポンプ作動液蒸気,またはポンプ油蒸気の移動。 カ行TOPに戻る |
| 【吸
気 口 (inlet) 】 ポンプの気体吸込み口。 カ行TOPに戻る |
| 【吸
収 (absorption) 】 気体または蒸気分子(吸収質:absorbate)が固体または液体(吸収媒:absorbent)の内部に取り込まれる現象。 備考 この場合の気体または蒸気分子を吸収質,固体または液体を吸収媒という。 カ行TOPに戻る |
| 【吸
着 (adsorption) 】 気体または蒸気分子(吸着質:adsorbate)が固体または液体(吸着媒:adsorbent)の表面にとどまっている現象。備考：この場合の気体または蒸気分子を吸着質,固体または液体を吸着媒という。 カ行TOPに戻る |
| 【吸
入 圧 (inlet pressure) 】
ポンプの吸気口における圧力。 カ行TOPに戻る |
| 【凝縮係数
(condensation coefficient) 】
凝縮速度と入射頻度または入射速度との比。無次元量である。 (量記号:ｃ) カ行TOPに戻る |
| 【凝縮速度
(condensation rate) 】
表面の単位面積当たりに単位時間に凝縮する分子の数または物質の量。 カ行TOPに戻る |
| ◇ク◇
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| 【クイックカップリング
(quick coupling) 】 従来のフランジ接続よりも取扱いが容易である。クランプ形の継手。 カ行TOPに戻る |
| 【クヌーセン真空計
(Knudsen gauge) 】 気体分子の平均自由行程に比べてかなり小さい間隔を保って配置され,かつ異なった温度に保たれている。2面間での運動量輸送速度を測定することによって圧力を求める真空計。 カ行TOPに戻る |
| 【クヌーセン数
(Knudsen number) 】 流れの特性を表す無次元量の一つであって,流れを特徴づける代表的な長さ(たとえば管の直径)に対する分子の平均自由行程の比。 カ行TOPに戻る |
| 【クライオソープションポンプ
(cryosorption pump) 】
収着を主な排気作用とするクライオポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【クライオポンプ
(cryopump) 】 気体分子を極低温面に凝縮または収着させて捕捉する気体ため込式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| ◇ケ◇
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| 【ゲージポート
(gauge port) 】 真空計の取付け口。 カ行TOPに戻る |
| 【ゲートバルブ
(gate valve) 】 ディスクがボートに平行な面内に動くことができ,通常ボートが入口と出口の開口と同軸上にあるバルブ。 カ行TOPに戻る |
| 【ゲッタポンプ(getter
pump) 】 ゲッタ作用(すなわち,化学的に活性な国体表面の収着作用)を利用する気体ため込式真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【ゲッタイオンポンプ
(getter ion pump) 】
電界・磁界中での気体分子の励起,イオン化などを利用するゲッタポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【検出可能な最小の漏れ(孔)
(minimum detectable leak(by a leak detecting system)) 】
a) 雑音やバック。グラウンドのあるところで,与えられた漏れ捜し器で明瞭に検知することのできる最小の漏れ孔の大きさ.単位時間当たりの流量で表される。 b)検出可能な最小圧力変化と,漏れ捜し器のおかれた場所における排気速度の積。 カ行TOPに戻る |
| ◇コ◇
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| 【高周波(質量分析計)形分圧真空計(radio
frequency mass spectrometer) 】
一連のグリッドによって正負交互に形成された高周波電界によって,イオンを選択的に加速して分離する質量分析計形分圧真空計。 カ行TOPに戻る |
| 【高
真 空 (high vacuum(HV)) 】
圧力0.1Pa〜10μPa(10-1〜10-5 Pa)の真空。 カ行TOPに戻る |
| 【高真空維持ポンプ,アペンデージポンプ
(appendage vacuum pump) 】
排気された容器内の圧力を低圧に維持するために主ポンプに代わって用いられる補助的な真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【高真空バルブ
(high-vacuum valve) 】
高真空領域において系の間に圧力差があっても使えるようにしたバルブ。 かようなバルブの漏れの速度と離脱ガスの速度との和が所期の到達圧力とバルブの開放時のコンダクタンスの積1/1Oより小さくなければならない。 カ行TOPに戻る |
| 【高真空ポンプ
(high vacuum pump) 】
高真空領域で作動する真空ポンプ。 カ行TOPに戻る |
| 【コ
ッ ク (stop-cock) 】 バルブ胴体内にすり合わせで回せる部分があり。この部分の回転操作で流体の流れを開閉するバルブの一種。 カ行TOPに戻る |
| 【コバール封じ
(kovar seal,kovar-einschmelz) 】
コバール(鉄,ニッケル,コバルト合金)をガラスに封じ込んだガラス対金属封じ。 カ行TOPに戻る |
| 【国有感度
(inherent sensitivity) 】
圧力Pのとき漏れ捜し器の指度のふらつきΔDを圧力変化に換算した値をΔPとすればΔP /Pを漏れ捜し器の国有感度と呼んでいる。 カ行TOPに戻る |
| 【コンダクタンス
(conductance) 】 流量をオリフィスの両側,導管などの二つの断面における圧力差で除した量。この場合,等温条件を仮定している。 (量記号:C,U,G,単位記号:m3s-1) カ行TOPに戻る |
| 【コンフラットフランジ
(conflat flange) 】 ナイフエッジの先端が金属ガスケット(通常無酸素銅)に食い込みシールされるメタルシール方式のフランジ。ベーキング可。超高真空に用いられる。 カ行TOPに戻る |
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