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| ◇M◇
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| 【magnetic
deflection mass spectrometer （磁界偏向(質量分析計)形分圧真空計）】
静電界で加速されたイオンの軌道を磁界で偏向することによってイオンを分離する質量分析計形分圧真空計。 TOPに戻る |
| 【main
pump （主ポンプ）】 真空系を作動圧力まで排気し,その圧力を保つための真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【masking
（マスキング）】 被試験体の一部を覆って,この覆った部分に漏れがあっても,そこから探索気体が入らないようにすること。 TOPに戻る |
| 【mass
flow rate （質量流量）】 空間内のある面を単位時間に通過する気体の質量。(量記号:Qm,単位記号:kg・s-1) TOPに戻る |
| 【maximum
working pressure （最大吸入圧）】
蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維持できる吸入圧の最大値。 TOPに戻る |
| 【Maxwellian
velocity distribution （マクスウエルの速度分布）】
ある温度において熱平衡にある気体を構成する分子の速度分布。備考 マクスウェル-ボルツマンの速度分布関数によって表される。 TOPに戻る |
| 【McLeod
gauge （マクラウド真空計）】 水銀柱を移動することによって気体を圧縮し,その気体の圧力を液柱差によって求める圧縮真空計。 TOPに戻る |
| 【mean
free path （平均自由行程）】
気体(一般には粒子の集合系)の中を自由に動き回る粒子(分子・原子・電子・イオン・中性子など)が同種または異種の粒子と次々に衝突する場合,相続く衝突間に粒子が飛行した距離の平均。(量記号:λ,l,単位記号:m) TOPに戻る |
| 【medium
vacuum （中 真 空）】 圧力100〜0.1Pa(102〜10-1 Pa)の真空。 TOPに戻る |
| 【mercury
cut-off （水銀カットオフ）】 水銀柱を上下させることによって開閉するようなバルブ。U型水銀カットオフではU手管の底についている管を通してU手管に水銀を導入したり,引き下げたりする。 TOPに戻る |
| 【mercury
sealed stop-cock （水銀封じ(ストップ)コック）】
ストップコックの本体と栓との間隙の上に水銀溜りを作り,これで外部からの大気が漏って入るのを防ぐようにしたもの。 TOPに戻る |
| 【migration
（表面移動）】 表面上における分子の移動。 TOPに戻る |
| 【minimum
detectable leak(by a leak detecting system) （検出可能な最小の漏れ(孔)）】
a) 雑音やバック。グラウンドのあるところで,与えられた漏れ捜し器で明瞭に検知することのできる最小の漏れ孔の大きさ.単位時間当たりの流量で表される。 b)検出可能な最小圧力変化と,漏れ捜し器のおかれた場所における排気速度の積。 TOPに戻る |
| 【minimum
detectable pressure change(by a leak detector element) （最小可検圧力変化）】
雑音レベル(探索気体による出力がないときに漏れ捜し器が示す擬似出力を適当な項で表したもの)の3倍の指度を生ずる圧力。 TOPに戻る |
| 【MOCVD,
metal organic CVD （有機金属気相成長法）】
有機金属化合物を常圧または,減圧下で加熱された基板上に結晶成長させ薄膜を得る方法。成長過程は,研究段階であるが,混晶の成長が容易である。単原子層・オーダーの制御と容易に大面積化が可能。 TOPに戻る |
| 【modulator
gauge （モジュレータ真空計）】 モジュレータとしての補助電極を設け,その電位変化による集イオン電極電流の変化を測定し,残留電流の影響を見積もることができるようにしたベヤード-アルパート形の真空計。 TOPに戻る |
| 【molar
flow rate （モル流量）】 空間内のある面を単位時間に通過する気体のモル数。(量記号:Qν単位記号；mol・s-1) TOPに戻る |
| 【molecular
beam epitaxy （分子線エピタキシャル(MBE)法）】
超高真空中で加熱した結晶基板上に,複数の蒸発源から分子(原子)線を蒸発させ元素固有の付着係数の差を利用し,化学量論的組成比を保ちつつ薄膜成長させる方法。原子層オーダーの制御が可能。化合物半導体の結晶成長や機能性材料の研究開発に利用されるが一般に生産性が低いのが欠点である。 TOPに戻る |
| 【molecular
distillation （分子蒸留）】
蒸発面と凝縮面を残留気体の平均自由行路以内の距離に保って真空蒸留を行う。理論的には蒸発した蒸留物質は分子間衝突により蒸発面に戻ることがないことから高い蒸留効率が得られる。一般に蒸留容器内の残留ガスの圧力は平均自由行路との関係で1×1O-3Pa程度が必要である。ビタミンA,E,K,モノグリセライド,高分子物質などの蒸留に使用されている。 TOPに戻る |
| 【molecular
drag pump （分子ポンプ）】 高速回転するロータによってその表面に衝突した気体分子に運動量を与え,気体輸送を行う連動量輸送式真空ポンプ。分子流領域で有効に作動する。 TOPに戻る |
| 【molecular
effusion；effusive flow （分子ふきだし,分子噴流）】
厚さを無視できるオリフィスにおいて,気体分子の平均自由行程が,オリフィス開口の最大寸法より十分に大きい場合の気体の流れ。 TOPに戻る |
| 【molecular
flow （分 子 流）】 気体分子の平均自由行程が導管断面の最大寸法よりも十分に大きい場合(クヌーセン数が大きい場合)の導管内の気体の流れ。 TOPに戻る |
| 【molecule
flow rate density （分子流量密度）】
単位面積当たりの分子流量。(単位記号:m-2・s-1) TOPに戻る |
| 【molecule
flow rate； molecule flux （分子流量,分子束）】
空間内のある面を単位時間に通過する気体分子の正味の数。(量記号:qN,単位記号:s-1) TOPに戻る |
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