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【マクスウエルの速度分布(Maxwellian
velocity distribution) 】
ある温度において熱平衡にある気体を構成する分子の速度分布。備考 マクスウェル-ボルツマンの速度分布関数によって表される。
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【マクラウド真空計
(McLeod gauge) 】
水銀柱を移動することによって気体を圧縮し,その気体の圧力を液柱差によって求める圧縮真空計。
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【マスキング
(masking) 】
被試験体の一部を覆って,この覆った部分に漏れがあっても,そこから探索気体が入らないようにすること。
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【マニホルド
(vacuum manifold) 】
排気されるべき対象物がいくつも同時に取り付けられていて排気や処理が行えるようになっている真空系をいう。
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【モジュレータ真空計
(modulator gauge) 】
モジュレータとしての補助電極を設け,その電位変化による集イオン電極電流の変化を測定し,残留電流の影響を見積もることができるようにしたベヤード-アルパート形の真空計。
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【漏りの割合
(inleakage rate) 】
特定の排気した容器において,そこに存在するすべての漏れ孔からの漏り量による単位時間当たりの圧力上昇。
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【漏れ,リーク
(leak) 】
(1) 真空技術においては,容器の両側に圧力または濃度差があるとき,器壁の一方の側から他方の側に気体が通り抜ける現象をいう。
(2) このとき気体の通り抜ける器壁の孔をさすこともある。
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【漏れ捜し器素子の感度(sensitivity
of a leak-detecting element) 】
同一圧力の探索気体に置換すれば最小可検指度を生ずる(たとえば3秒内に雑音の3倍の指度を生ずる)ような空気の最小分圧。 (注)英国では素子のある場所で,単位探索気体分圧の代わりに空気分圧で変えたときの指示器の振れとし,気体を交換してから振れを読み取るまでに3秒以上経過してはならないことにしている。
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【漏れ捜し器(系)の感度
(sensitivity of a leak detector) 】
漏れ捜し装置で検出することのできる,空気宇にある探索気体の最小濃度。
(注)英国では単位漏れ孔が探索気体で完全に覆われたときの指示器の振れを漏れ捜し系の感度と定義して,漏れ孔を覆ってから計器の読みをとるまでに3秒以上経過してはならないとしている。
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【漏れ捜し法,リ-クテスト
(leak test) 】
漏れの場所を捜す方法。加圧法と真空法とがある。
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【モル流量
(molar flow rate) 】
空間内のある面を単位時間に通過する気体のモル数。(量記号:Qν単位記号;mol・s-1)
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