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【oil
purifier (油純化器)】
ポンプ油から種々の汚染物質を除去するための装置。
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【oil
separator (油分離器)】
真空ポンプの排気口において,気体とともに輸送されるポンプ油の損失を減少させるための装置。
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【oil
trap (油トラップ)】
機械ポンプまたは油圧計と真空系との間におかれる容器であって,事故によって油が真空系などに逆流するのを防ぐ目的を有する。
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【oil-sealed
rotary vacuum pump (油回転(真空)ポンプ)】
油によって,ロータ,ステータ,翼板などの部品の間の気密力まび無効空間の減少を図っている容積移送式真空ポンプ。
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【omegatron
mass spectrometer (オメガトロン(質量分析計)形分圧真空計)】
直交した高周波電界および静磁界の中でのイオンのサイクロトロン共鳴現象を利用して,イオンを分離する質量分析計形分圧真空計。
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【outgassing
(気体放出)】
物質からの気体の放出。
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【outgassing(or
desorption,or degassing)rate (気体放出速度)】
物質の単位表面積から単位時間に放出されるpV値または分子の数。(量記号:qd,単位記号:Pa・m・s-1,m-2・s-1)
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【outlet
(排 気 口)】
ポンプの気体吐出し口。
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【O-ring
gasket (O-リングガスケット)】
断面が円形で,全体が円形のガスケット。真空装置に多用されている。エラストマはバイトン(フッ素ゴム,200℃程度まで使用可)とネオプレン(ニトリルゴム,80℃)が代表的。メタルは,メタル中空Oリング,へリコフレックス(コイルスプリング内蔵,メタルOリング)などがある。
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