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| ◇P◇
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| 【packed
valve （パッキング付バルブ）】 バルブ軸とボンネットとの間にパッキングを入れて軸がボンネットを通り抜けるところにおける気密を保たせるようにしたバルブ。 TOPに戻る |
| 【packing
（パッキング）】 回転軸その他の可動部分と装置部との間隙に詰めて気密を保たせるもの。 TOPに戻る |
| 【packless
valve （パッキングなしバルブ）】
バルブ軸とボンネットとの間の密封がパッキング付バルブのように国体間の滑りによらず完全な密封を行っているバルブ。ベローバルブ,隔離バルブなどがこれに属する。 TOPに戻る |
| 【partial
pressure （分 圧）】 混合気体中の特定成分の圧力。(量記号:成分iに関してはp,単位記号:Pa) TOPに戻る |
| 【partial
pressure vacuum gauge;partial pressure analyser （分圧(真空)計,真空分析計）】
混合気体の成分の分圧を測定する真空計。参考 現用されている分圧真空計のほとんどは質量分析計の一種である。 TOPに戻る |
| 【pascal
（パスカル）】 国際単位系の圧力単位の名称。(単位記号:Pa) 1Pa=1N・m-2 TOPに戻る |
| 【Peming
gauge （ペニング真空計）】 一対の平行平板陰極間に環状陽極を置き,それらの軸に平行に磁界をかける冷陰極電離真空計。 TOPに戻る |
| 【permeation
（透 過）】 気体が吸着・溶解・拡散・脱離などに基づいて固体内を通過する現象。 TOPに戻る |
| 【physical
adsorption;physisorption （物理吸着）】
化学結合を伴わない物理的な力による吸着。 TOPに戻る |
| 【Pirani
gauge （ピラニ真空計）】 加熱されている素子が金属細線で,その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計。 TOPに戻る |
| 【piston
vacuum pump （ピストン真空ポンプ）】
シンリダ内でのピストンの往復運動によって気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【plasma
（プラズマ）】 異符号の電荷を有する2種以上の荷電粒子群を含みそのうち少なくとも1種の荷電粒子群が不規則な熱運動を行っている系において,二つの荷電粒子間の相互作用がおよぶ平均距離より,十分大きな寸法をもった体積部分。 TOPに戻る |
| 【plasma
CVD （プラズマCVD）】 プラズマにより反応性ガスを励起させ,化学反応を促進させることにより,非晶質の薄膜を堆積させる方法。低温(200〜450℃)で堆積でき,ステップカバレジのよいこと,大面積化に対応できる等の特長がある。太陽電池や薄膜デバイスの非晶質シリコンとして電極,配線材料あるいはシリコン窒化物,酸化物等の絶縁薄膜を得る方法として用いられる。 TOPに戻る |
| 【plasma
etching （プラズマエッチング）】
反応性ガスによる低温プラズマ中の活性化原子(ラジカル)と試料との化学反応により揮発性化合物を作り試料と加工する技術。 TOPに戻る |
| 【plasma
oxidation （プラズマ酸化）】
プラズマにより励起した酸素によって,化合物半導体などを低温で陽極酸化し,酸化膜を形成する方法。 TOPに戻る |
| 【plug
valve （プラグバルブ）】 プラグ(栓)がバルブ本体またはバレル(通常テーパのついている円錐形部分)を回転することができるバルブ。プラグ内の孔はバルブを開放した位置で本体内の対応した孔と位置を一致させるようになっている。 TOPに戻る |
| 【Poiseuille
flow （ポアズイユの流れ）】 円形断面の長い導管を通る粘性層流(レイノルズ数が小さい場合)。 TOPに戻る |
| 【port
（ポート）】 a)バルブ本・体内にある可変開口であって,それを通ってバルブの入口から出口ヘ流体が流れる。 b)真空系を構成している部分の入口または出口にある開口であって,それを通して気体が流れる。 TOPに戻る |
| 【positive
displacement(vacuum)pump （容積移送式真空ポンプ）】
ピストン,ロータ,翼板,バルブなどの機械的部分によって分離された空間に取り込まれた気体を,この系の周期運動によって輸送するポンプ.大半のポンプは気体の圧縮過程をもつ。 備考 容積移送式ポンプは往復動式および回転式の二つに大別する。 TOPに戻る |
| 【pressure
（圧 力）】 空間内のある点を含む仮想の微小平面を両側の方向から通過する分子によって,単位面積当たり,単位時間に輸送される運動量の面に垂直な成分の総和。空間内に定常的な気体の流れがあるときは,流れの方向に対して面の傾きを規定する。(量記号:p,P,単位記号:Pa) TOPに戻る |
| 【pressure
gauge （(気体の)圧力計）】 気体・蒸気の圧力を測定する計器。 TOPに戻る |
| 【pressure
rise test,build-up test （圧力上昇試験）】
排気された系をポンプから切り離し,その中における圧力上昇速度を観測して系内に漏れがあるか否か,あるいはそのだいたいの大きさを知る試験。 TOPに戻る |
| 【pressure
testing （加圧試験法）】 検査しようとする容器内に圧力を加えて探索気体を詰め込み,漏れ孔から出てくる気体を検知することによって漏れ捜しする方法。 TOPに戻る |
| 【probe
（吹 付 管）】 一方の口が細い孔になっている管であって,探索気体の流れを一方向に向けるのに用いる。 TOPに戻る |
| 【probe
gas （プローブガス）】 探索気体であって特に細い口から噴き出させ,限られた試験面積に当たるようにしたもの。 TOPに戻る |
| 【pump
case （ポンプケース,ポンプケ―シング）】
ポンプの作動部分を収めている容器。 TOPに戻る |
| 【pump
fluid （ポンプ作動液）】 蒸気噴射真空ポンプの作動用液体。 TOPに戻る |
| 【pumping
speed;volume flow rate of a vacuum pump （ポンプの排気速度,ポンプの体積流量）】
ポンプの吸気口を通る気体の体積流量。 (量記号:S,単位記号:m3・s-1) TOPに戻る |
| 【pump-out
（保護真空引口）】 二重パッキングまたはガスケット間の空間を排気するための引口であってガスケットの漏れ検査に使用される。 TOPに戻る |
| 【probe
test （吹付管試験法）】 探索気体で覆われる面積が局部的になるように吹付管でその気体を吹きつける漏れ捜し試験法。これによって個々の漏れ孔の場所を見つけることができる。 TOPに戻る |
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