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| ◇R◇
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| 【radio
frequency mass spectrometer （高周波(質量分析計)形分圧真空計）】
一連のグリッドによって正負交互に形成された高周波電界によって,イオンを選択的に加速して分離する質量分析計形分圧真空計。 TOPに戻る |
| 【reactive
sputter etching （反応性スパッタエッチング）】
反応性ガス雰囲気のグロー放電中に試料を置き,活性化原子(ラジカル)との化学反応力まび高速イオン(数ev〜数百ev)によるスパッタリング反応(イオンアシスト反応を含む)により試料を加工する方法。リアクティブイオンエッチング(HE)法ともよばれる。おもに半導体素子の形成に応用されるサブミクロンのパターンを高異方性に加工できる。電極間が5〜10m程のナローギャップ法やマグネトロン放電を利用した有磁場HE法も利用されている。 TOPに戻る |
| 【relative
sensitivity factor （比 感 度）】
真空計のある気体に対する感度と,その真空計の同一条件下における同一圧力の窒素に対する感度との比。(量記号:r) TOPに戻る |
| 【residence
time （(平均)滞留時間,(平均)滞在時間）】
分子が表面に吸着状態で束縛されている時間の平均。 (量記号:τ,単位記号:s) TOPに戻る |
| 【response
time （応答時間）】 漏れ孔を探索気体で覆った後,漏れ捜し器あるいは漏れ捜し器系の指度がその最大値(気体を試験中の系にいつまでも与えたときに達せられる値)の63%(=1-1/e)に達するまでに要する時間。 TOPに戻る |
| 【Reynolds
number （レイノルズ数）】 流れの特性を表す無次元量の一つであって,流れを特徴づける代表的な長さ(たとえば管の直径),流れの速度,気体の密度,気体の粘度の関数。 TOPに戻る |
| 【Roots
vacuum pump （ルーツ(真空)ポンプ）】
ポンプケースの中を互いに反対方向に回転する一対のまゆ形ロータによって,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【rotary
piston vacuum pump （カム形油回転(真空)ポンプ）】
偏心ロータ(カム)がステータについているしゆう動翼板によって押さえつけられながら回転し,翼板,ロータおよびステータで囲まれた空間の容積を変化させて,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【rotary
plunger vacuum pump （揺動ピストン形油回転(真空)ポンプ）】
ステータ気密部をしゅう動するプランジャに固定された円筒の外面が,偏心ロータの回転によるプランジャの上下首振り運動に伴いステータ内面をしゅう動し,プランジャ,円筒およびステータで囲まれた空間の容積を変化させて気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【rotary
vacuum seal （回転真空封じ）】
回転軸が真空系に入るところで漏れのないようにした封じ。磁性流体封じ,回転軸封じの一種。軸に近接した磁極間に磁性体の超微粒子を分散させた溶媒が束縛され,これによりシールされる。 TOPに戻る |
| 【roughing
line （あら(粗)引き配管）】 機械ポンプなどから直接真空槽につながる配管であって,この管を通して低真空領域での予備排気が行われる。 TOPに戻る |
| 【roughing
vacuum pump （粗引きポンプ）】
大気圧から生ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【roughing
valve （あら(粗)引きバルブ）】
あら引き配管途中に設けてあるバルブであって,真空槽とあら引きポンプとの間の連絡を断ちたいときに用いる。 TOPに戻る |
| 【rough
vacuum pump;low vacuum pump （低真空ポンプ）】
低真空領域で作動する真空ポンプ。 TOPに戻る |
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