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| ◇ラ◇
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| ◇リ◇
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| 【リーク、漏れ
(leak) 】 (1) 真空技術においては,容器の両側に圧力または濃度差があるとき,器壁の一方の側から他方の側に気体が通り抜ける現象をいう。 (2)このとき気体の通り抜ける器壁の孔をさすこともある。 ラ行TOPに戻る |
| 【リークディテクター(漏れ捜し器)
(1eak detector) 】 真空装置の漏れの存在,その場所およびリーク量を調べるための装置。 ラ行TOPに戻る |
| 【リーク量
(leak rate) 】 漏れを通る気体の流量をいう。一般に,容器内が十分低圧で外側が1気圧のときに漏れる空気の流量で表示する。量記号QL,単位記号Pa・m3s-1,Torr・s-1など。 ラ行TOPに戻る |
| 【離脱、脱離
(desorption) 】 収着されていた気体または蒸気分子の放出。 ラ行TOPに戻る |
| 【(気体の)流量
(throughput) 】 導管のある断面またはオリフィスを単位時間に通過するpV値。 (量記号:Q,単位記号:Pa・m-3・s-1) ラ行TOPに戻る |
| 【臨界背圧
(critical backing pressure) 】
蒸気噴流または蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維持できる最大の背圧。(量記号:pbc,単位記号:Pa)。備考 ポンプの排気量に関係する値。 ラ行TOPに戻る |
| ◇ル◇
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| 【ルーツ(真空)ポンプ
(Roots vacuum pump) 】
ポンプケースの中を互いに反対方向に回転する一対のまゆ形ロータによって,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 ラ行TOPに戻る |
| ◇レ◇
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| 【冷陰極電離真空計
(cold cathode ionization gauge) 】
冷陰極放電による気体の電離を利用する電離真空計。 ラ行TOPに戻る |
| 【冷陰極マグネト口ン真空計(cold
cathode magnetron gauge) 】
同軸円筒状に電極を配置し,電界に垂直に磁界をかける冷陰極電離真空計。 ラ行TOPに戻る |
| 【冷却トラップ
(cold trap) 】 冷却面における凝縮作用を利用するトラップ。 寒剤を入れるように設計された容器,あるいは寒剤がコイル中を循環して冷却するようになっている容器であって,真空にさらされた表面で真空装置内の蒸気などを凝縮されることを目的として真空系内に挿入されるもの。 ラ行TOPに戻る |
| 【レイノルズ数
(Reynolds number) 】
流れの特性を表す無次元量の一つであって,流れを特徴づける代表的な長さ(たとえば管の直径),流れの速度,気体の密度,気体の粘度の関数。 ラ行TOPに戻る |
| ◇ロ◇
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