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| ◇S◇
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| 【sampling
probe,pressure probe,sniffer （捕集プローブ）】
加圧試験法において,試験体の限られた面積から漏れてくる探索気体を集め,これを漏れ捜し器に導くための器具(装置)。 TOPに戻る |
| 【saturated
vapour （飽和蒸気）】 ある温度において飽和蒸気圧に等しい圧力を示す蒸気。 TOPに戻る |
| 【saturation
vapour pressure （飽和蒸気圧）】
その温度で凝縮相と熱力学的平衡に達している蒸気が示す圧力。(量記号:pi,単位記号:Pa) TOPに戻る |
| 【seat(of
valve) （バルブシート(弁座)）】
バルブボートの周囲にあって,流れを止め,気密封じをするための本体側の面。 TOPに戻る |
| 【seat
gasket （シートガスケット）】 バルブを閉じたとき,ボートを気密封じをするガスケット。 TOPに戻る |
| 【self-purifying
diffusion pump （自己浄化形油拡散ポンプ）】
ポンプ作動液の分解などによる不純物がボイラに戻るのを防ぐような油拡散ポンプ。 TOPに戻る |
| 【sensitivity
（感 度）】 ある圧力のとき,真空計に指示された読みの変化と相当する圧力変化との比。 TOPに戻る |
| 【sensitivity
of a leak detector （漏れ捜し器(系)の感度）】
漏れ捜し装置で検出することのできる,空気宇にある探索気体の最小濃度。 (注)英国では単位漏れ孔が探索気体で完全に覆われたときの指示器の振れを漏れ捜し系の感度と定義して,漏れ孔を覆ってから計器の読みをとるまでに3秒以上経過してはならないとしている。 TOPに戻る |
| 【sensitivity
of a leak-detecting element （漏れ捜し器素子の感度）】
同一圧力の探索気体に置換すれば最小可検指度を生ずる(たとえば3秒内に雑音の3倍の指度を生ずる)ような空気の最小分圧。 (注)英国では素子のある場所で,単位探索気体分圧の代わりに空気分圧で変えたときの指示器の振れとし,気体を交換してから振れを読み取るまでに3秒以上経過してはならないことにしている。 TOPに戻る |
| 【sliding
vane rotary vacuum pump （回転翼形油回転(真空)ポンプ）】
ばねによって常にステータに押し付けられている2枚またはそれ以上の翼板をもつロータの回転によって,翼板,ロータおよびステータで囲まれた空間の容積を変化させて,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 TOPに戻る |
| 【soap
bubble test （石けん泡試験法）】
試験しようとする容器の表面に石けん液を塗り,そこに生ずる泡で探索気体を検知する形式の加圧試験法。 TOPに戻る |
| 【sorption
（収 着）】 固体または液体(収着媒:sorbent)による気体(または蒸気)分子(収着質:sorbate)の取り込み。吸着力まび吸収の二つの現象を含んでいる。 備考 この場合の固体または液体を収着媒,気体(または蒸気)分子を収着質という。 TOPに戻る |
| 【sorption
trap （収着トラップ）】 収着作用を利用するトラップ。 TOPに戻る |
| 【sputtering
（スパッタリング(またはスパッタ)）】
アルゴン等のイオン衝撃により,陰極(金属や化合物)の表面から原子分子が内部の束縛エネルギーよりも,十分な運動量を得ると,空間へ飛散する現象およびこの現象を利用した成膜法。陰極に対向した陽極との間で1Pa程度のアルゴンガスに高電圧を印加し,発生したグロー放電で生成されたイオンにより陰極材料(ターゲット)がスパッタされ,これが基板上に堆積することにより薄膜を得る。陰極の印加電力により,DC,Rf,多極,ECR等のスパッタ方式があり,低温,高速成膜可能なマグネトロン方式は広く用いられている。また,アルゴンに活性なガスを添加して,ガスとターゲット原子との混合物・化合物薄膜を得るリアクティブスパッタ法もある。 TOPに戻る |
| 【sputter
ion pump （スパッタイオンポンプ）】
陰極スパッタリングによってゲッタ面を更新するゲッタイオンポンプ。 TOPに戻る |
| 【standard
leak （標準漏れ孔）】 一端が大気圧,他端が真空のとき,ある気体について漏れ孔を通して特定の速さで漏りが起こるような装置。このときの他端の圧力は十分低くて漏りの早さに影響しないくらいのものとする。 TOPに戻る |
| 【standard
reference conditions for gases （気体の標準状態）】
気体論における気体の標準条件を与えるもので,温度0℃,圧力101325Pa(1標準気圧)の状態。 TOPに戻る |
| 【starting
pressure （始動圧力）】 真空ポンプが損傷することなく始動でき,かつ正常な排気作用を得られる圧力。 TOPに戻る |
| 【stem(of
a valve) （軸）】 バルブの開閉にあたって外部からディスクに運動を伝えて,バルブボートを開閉する部分。 TOPに戻る |
| 【sticking
probability （付着確率）】
付着速度と入射頻度または入射速度との比。無次元量である。 (量記号:s) TOPに戻る |
| 【sticking
rate （付着速度）】 表面の単位面積当たりに単位時間に化学吸着される分子の数または物質の量。 TOPに戻る |
| 【stop-cock
（コ ッ ク） バルブ胴体内にすり合わせで回せる部分があり。この部分の回転操作で流体の流れを開閉するバルブの一種。 TOPに戻る |
| 【sublimation
pump; evaporation pump （サブリメ―シコンポンプ）】
連続または非連続的な昇華。蒸発によって作成されたゲッタ作用をもつ面(ゲッタ面)を利用するゲッタポンプ。 TOPに戻る |
| 【substitution
sensitivity factor （置換感度係数）】
漏れのあるときの真空計の空気に対する指度をDAそれを探索気体で置換して十分時間が経過したときの真空計の指度をDP漏れを閉じたときの指度をD0とすれば置換感度係数(φ)=(DP-DA)/(DA-D0)。 TOPに戻る |
| 【suppressor
gauge （サプレッサ真空計）】 サプレッサ電極を集イオン電極の近傍に設け,集イオン電極からの二次電子放出の影響を抑えるとともに,X線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。 TOPに戻る |
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