[目次][ア行][カ行][サ行][タ行][ナ行][ハ行][マ行][ヤ行][ラ行][ワ行] ◇サ◇ 【サーミスタ真空計 (thermistor gauge) 】 加熱されている素子がサーミスタで,その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計 サ行TOPに戻る 【差圧真空計 (differential vacuum gauge) 】 可とう膜または液柱のような圧力差を感知する隔離媒体を用いて,その両側にかかる圧力差を測定する真空計。 サ行TOPに戻る 【最小可検圧力変化(minimum detectable pressure change(by a leak detector element)) 】 雑音レベル(探索気体による出力がないときに漏れ捜し器が示す擬似出力を適当な項で表したもの)の3倍の指度を生ずる圧力。 サ行TOPに戻る 【回転翼形油回転(真空)ポンプ (sliding vane rotary vacuum pump) 】 ばねによって常にステータに押し付けられている2枚またはそれ以上の翼板をもつロータの回転によって,翼板,ロータおよびステータで囲まれた空間の容積を変化させて,気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 サ行TOPに戻る 【最大吸入圧 (maximum working pressure) 】 蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維持できる吸入圧の最大値。 サ行TOPに戻る 【差動式漏れ捜し器 （differential leak detector) 】 相似た2個の圧力測定子と1個のトラップとからなり, これらをブリッジ回路につないだ漏れ捜し器であって,系と測定子の一つの間にはいっている探索気体に選択的に働く。回路は探索気体に応答するが空気圧力の変動に応答しない。 サ行TOPに戻る 【サブリメ―シコンポンプ(sublimation pump; evaporation pump) 】 連続または非連続的な昇華。蒸発によって作成されたゲッタ作用をもつ面(ゲッタ面)を利用するゲッタポンプ。 サ行TOPに戻る 【サプレッサ真空計 (suppressor gauge) 】 サプレッサ電極を集イオン電極の近傍に設け,集イオン電極からの二次電子放出の影響を抑えるとともに,X線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。 サ行TOPに戻る 【三極管形電離真空計 (triode gauge) 】 通常の三極管構造をもつ熱陰極電離真空計。 フイラメントを管の軸上に置き,グリッドおよびブレートをフィラメントと同軸的に配置して,それぞれを集電子電極および集イオン電極としたもの。 サ行TOPに戻る ◇シ◇ 【シェブロン封じ (chevron seal) 】 a) 数個のV字型パッキングを順次重ねたものからなる封じ。 b数個のパッキングをスペーサなしに重ねたものからなる変形ウイルソン封じ。 サ行TOPに戻る 【シートガスケット (seat gasket) 】 バルブを閉じたとき,ボートを気密封じをするガスケット。 サ行TOPに戻る 【磁界偏向(質量分析計)形分圧真空計 (magnetic deflection mass spectrometer) 】 静電界で加速されたイオンの軌道を磁界で偏向することによってイオンを分離する質量分析計形分圧真空計。 サ行TOPに戻る 【軸 (stem(of a valve)) 】 バルブの開閉にあたって外部からディスクに運動を伝えて,バルブボートを開閉する部分。 サ行TOPに戻る 【自己浄化形油拡散ポンプ (self-purifying diffusion pump) 】 ポンプ作動液の分解などによる不純物がボイラに戻るのを防ぐような油拡散ポンプ。 サ行TOPに戻る 【質量流量 (mass flow rate) 】 空間内のある面を単位時間に通過する気体の質量。(量記号:Qm,単位記号:kg・s-1) サ行TOPに戻る 【始動圧力 (starting pressure) 】 真空ポンプが損傷することなく始動でき,かつ正常な排気作用を得られる圧力。 サ行TOPに戻る 【収 着 (sorption) 】 固体または液体(収着媒:sorbent)による気体(または蒸気)分子(収着質:sorbate)の取り込み。吸着力まび吸収の二つの現象を含んでいる。 備考 この場合の固体または液体を収着媒,気体(または蒸気)分子を収着質という。 サ行TOPに戻る 【収着トラップ (sorption trap) 】 収着作用を利用するトラップ。 サ行TOPに戻る 【主ポンプ (main pump) 】 真空系を作動圧力まで排気し,その圧力を保つための真空ポンプ。 サ行TOPに戻る 【蒸 気 (vapour;vapor(USA)) 】 温度がその物質の臨界温度以下になっていて,圧力の増加だけで凝縮相に変化させることができる気体。 サ行TOPに戻る 【蒸気ジェット(真空)ポンプ,蒸気エジェクタ(ポンプ) (vapour jet vacuum pump) 】 作動流体が蒸気(水蒸気,水銀蒸気,油蒸気など)であるエジェクタ真空ポンプ。 サ行TOPに戻る 【蒸気導管,チムニー (vapour tube;vapour pipe; vapour chimney) 】 蒸気噴射真空ポンプにおいて,蒸気をボイラからノズルに導く導管。 サ行TOPに戻る 【蒸気噴射(真空)ポンプ (vapour pump) 】 蒸気の噴流で排気作用を行う運動量輸送式真空ポンプ。噴流の排気作用の機構によって蒸気ジェット真空ポンプおよび拡散ポンプの区別がある。 サ行TOPに戻る 【蒸気噴流 (jet) 】 蒸気噴射真空ポンプにおいてノズルから噴出する作動流体の急激な流れ。 サ行TOPに戻る 【衝突頻度 (collision rate) 】 気体(一般には粒子の集合系)の中を自由に動き回る粒子が単位時間に受ける衝突の平均回数。 (量記号:ψ,単位記号:s-1) 参考 衝突に関与する粒子の種類を指定することがある。 サ行TOPに戻る 【蒸着イオンポンプ (evaporation ion pump) 】 連続または非連続的な昇華。蒸発によってゲッタ面を更新するゲッタイオンポンプ。 サ行TOPに戻る 【蒸発速度 (evaporation rate) 】 表面の単位面積から単位時間に蒸発する分子の数または物質の量。 サ行TOPに戻る 【真 空 (vacuum) 】 通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態。 備考 1. 圧力そのものをいうのではない。 2.真空の領域は習慣的に低真空〜超高真空に示す圧力間隔で区分する。 サ行TOPに戻る 【真空カップ付(ストップ)コック (vacuum cup stop-cock) 】 コックの取手の反対側の端がバルブ本体に連結したカップで包囲されている活栓。カップはコックに開けた孔か,またはカップに連結している腕を通して排気される。 サ行TOPに戻る 【真空乾燥 (vacuum drying,vacuum dehydration) 】 材料を真空(減圧)下におくことにより,材料中の水分を蒸発させ,乾燥させる方法.。熱に敏感な物質,空気宇の酸素によって酸化,発火の危険がある物質,低含水率が望まれる物質等に利用される。 サ行TOPに戻る 【真空グリース (vacuum grease) 】 蒸気圧の低い(通常10〜2Pa以下)グリース。 サ行TOPに戻る 【真 空 計 (vacuum gauge) 】 気体・蒸気の大気圧より低い圧力を測定する計器。多くの場合,測定子と制御計測部とからなる。参考 普通に用いられている真空計には,この規格に規定する意味の''圧力''を直接には測定せず,特定の条件の下で圧力に関連した他の物理量を測定しているものが多い。 サ行TOPに戻る 【真空試験法 (vacuum testing) 】 試験しようとする容器を真空にし,その外面に探索気体を当て,容器内に入った気体を検知することによって漏れ孔を見出す方法。 サ行TOPに戻る 【真空蒸着 (vacuum deposition) 】 10〜2Paより低い圧力の真空容器の一部に蒸発源,その周囲に素地を置き,蒸発源を加熱することによって材料(全属,ある種の化合物など)を真空中で蒸発させる。蒸発原子(または分子)は蒸発源から直進して,素地面に凝縮して堆積する。真空によるメッキの一方法として広い範囲に応用されている。イオンビーム表面改質法 高速イオンビーム(数十kev〜数MeV)を被処理物に照射して,表面層を改質する方法。電子デバイス製造用基板の表面層に不純物を添加する目的のイオン注入と被処理物に薄膜を堆積後,あるいは堆積しつつ高速イオンと格子原子核を衝突せしめ,表面層と堆積原子をミキシングして所望の耐性を向上させる目的のイオンミキシング法がある。 サ行TOPに戻る 【真空蒸留 (vacuum distillation) 】 常圧では沸点が高すぎて分離や重合したり,加熱が困難であるとき,真空によって蒸留温度を下げ,物質の分離精製をする方法。 サ行TOPに戻る 【真空セメント (vacuum cement) 】 真空中で結合作用を失わない蒸気圧の低い(通常1O〜4Pa以下)セメント。 サ行TOPに戻る 【真空熱処理 (vacuum heat treatment) 】 真空中で,金属の焼き入れ,焼きなまし,焼結などの熱処理を行うこと。 優れた表面組織が得られる,熱処理歪の発生が少ない等,他の方法に比べ,多くの利点がある。 サ行TOPに戻る 【真空ペイント (vacuum paint) 】 空気中で乾燥したあと,蒸気圧の低い(通常1O〜4Pa以下)ペイント。 サ行TOPに戻る 【真空ポンプ (vacuum pump) 】 真空を作り,または維持するための機器。備考 気体輸送式真空ポンプおよび気体ため込式真空ポンプの二つに大別する。 サ行TOPに戻る 【真空溶解 (vacuum melting) 】 金属,合金を真空中で溶解させること。 脱ガス効果が大きい,活性金属の添加制御が容易,インゴットの清浄性が優れている等の利点がある。 サ行TOPに戻る 【真空冷却 (vacuum cooling) 】 材料を真空(減圧)下におくことにより,材料中の水分の一部を蒸発させ,蒸発潜熱を奪い,材料の温度を急速かつ均一に冷却する方法。 野菜,佃煮等の水分を含んだ農産物,加工品に利用されている。 サ行TOPに戻る 【真空ろう付け (vacuum brazing) 】 真空中で金属のろう付けを行うこと。 フラックスを使用しないので耐食性が増すなどの利点がある。 サ行TOPに戻る 【真空ワックス (vacuum wax) 】 真空用部品の接合,封じ,漏れ塞ぎなどに使われる蒸気圧の低い(通常10〜2Pa以下)ワックス。 サ行TOPに戻る ◇ス◇ 【水銀カットオフ (mercury cut-off) 】 水銀柱を上下させることによって開閉するようなバルブ。U型水銀カットオフではU手管の底についている管を通してU手管に水銀を導入したり,引き下げたりする。 サ行TOPに戻る 【水銀封じ(ストップ)コック (mercury sealed stop-cock) 】 ストップコックの本体と栓との間隙の上に水銀溜りを作り,これで外部からの大気が漏って入るのを防ぐようにしたもの。 サ行TOPに戻る 【スパッタイオンポンプ (sputter ion pump) 】 陰極スパッタリングによってゲッタ面を更新するゲッタイオンポンプ。 サ行TOPに戻る 【スパッタリング(またはスパッタ) (sputtering) 】 アルゴン等のイオン衝撃により,陰極(金属や化合物)の表面から原子分子が内部の束縛エネルギーよりも,十分な運動量を得ると,空間へ飛散する現象およびこの現象を利用した成膜法。陰極に対向した陽極との間で1Pa程度のアルゴンガスに高電圧を印加し,発生したグロー放電で生成されたイオンにより陰極材料(ターゲット)がスパッタされ,これが基板上に堆積することにより薄膜を得る。陰極の印加電力により,DC,Rf,多極,ECR等のスパッタ方式があり,低温,高速成膜可能なマグネトロン方式は広く用いられている。また,アルゴンに活性なガスを添加して,ガスとターゲット原子との混合物・化合物薄膜を得るリアクティブスパッタ法もある。 サ行TOPに戻る ◇セ◇ 【制御計測部 (gauge control unit) 】 測定子を作動させ計測する真空計の構成部品。 サ行TOPに戻る 【石けん泡試験法 (soap bubble test) 】 試験しようとする容器の表面に石けん液を塗り,そこに生ずる泡で探索気体を検知する形式の加圧試験法。 サ行TOPに戻る 【絶対真空計 (absolute vacuum gauge) 】 他の真空計を参照することなく,また気体の種類に無関係に,物理量の測定だけから圧力が求められる真空計。 サ行TOPに戻る 【全 圧 (total pressure) 】 混合気体中の全成分の分圧の総和。 (量記号:p,P,単位記号:Pa) サ行TOPに戻る 【全圧(真空)計 (total pressure vacuum gauge) 】 気体の全圧を測定する真空計。 サ行TOPに戻る ◇ソ◇ 【ソープションポンプ,収着水ンプ(adsorption pump) 】 単位質量当たりの真表面積の大きな物質(たとえば多孔質物質)の収着作用を利用する気体ため込式真空ポンプ。 サ行TOPに戻る 【測 定 子 (gauge head) 】 真空計において,感圧機能を備え,真空系に取り付けられる真空計の構成部品。 サ行TOPに戻る [目次][ア行][カ行][サ行][タ行][ナ行][ハ行][マ行][ヤ行][ラ行][ワ行]

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