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| 【thermal
conductivity gauge （熱伝導真空計）】
低圧気体の熱伝導が気体の圧力に依存することを利用し,素子の温度変化を計測して圧力を求める真空計。 TOPに戻る |
| 【thermal
CVD （熱C V D）】 熱エネルギーによって化学反応を行い薄膜生成を行う。常圧と減圧法があり,基板加熱法には,高周波加熱法と抵抗加熱法が用いられ,おもに基板を加熱するコールドウオール型と反応容器を加熱するホットウオール型に大別でき電気的・化学的に安定な薄膜が得られ,各種の絶縁膜,半導体膜,金属膜が作成できる。また基板材質の差によりある種の金属(Al,W,Mo)等は選択的に成長することができる選択熱CVDも開発されている。 TOPに戻る |
| 【thermal
transpiration （熱遷移,サーマルトランスピレーション）】
温度が異なる二つの容器が導管で結ばれている場合に,分子流領域において圧力差を生じる現象。 TOPに戻る |
| 【thermistor
gauge （サーミスタ真空計）】 加熱されている素子がサーミスタで,その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計。 TOPに戻る |
| 【thermocouple
gauge （熱電対真空計）】 加熱されている素子の温度を熱電対によって測定する熱伝導真空計。 TOPに戻る |
| 【throughput
(気体の)流量）】 導管のある断面またはオリフィスを単位時間に通過するpV値。 (量記号:Q,単位記号:Pa・m-3・s-1) TOPに戻る |
| 【throughput
of a vacuum pump （ボンプの排気量）】
ポンプの吸気口を通る気体の流量。(量記号:Q,単位記号:Pa・m3・s-1) TOPに戻る |
| 【time
of night mass spectrometer （飛行時間(質量分析計)形分圧真空計）】
等しい運動エネルギーをもつイオンの飛行速度が質量に依存することを利用して,イオンを分離する質量分分析計形分圧真空計。 TOPに戻る |
| 【Torr
（ト ル）】 1標準気圧(101325Pa)の760分の1。1Torr=133.322Pa TOPに戻る |
| 【total
pressure （全 圧）】 混合気体中の全成分の分圧の総和。 (量記号:p,P,単位記号:Pa) TOPに戻る |
| 【total
pressure vacuum gauge （全圧(真空)計）】
気体の全圧を測定する真空計。 TOPに戻る |
| 【tracer
gas,search gas （探索気体）】
漏れ孔の存在を知るのに利用される気体であって,漏れ孔を通った後,それを特定の漏れ捜し器で検出する。 TOPに戻る |
| 【transmission
probability;Clausing's factor （通過確率,クラウジング係数）】
導管の入口に入射した分子が出口を通過する確率。 TOPに戻る |
| 【trap
（トラップ）】 必要なコンダクタンスを確保しながら,望ましくない気体。蒸気の分圧を物理的または化学的方法で減少させ,その流れや移動を低減するための装置。 TOPに戻る |
| 【triode
gauge （三極管形電離真空計）】 通常の三極管構造をもつ熱陰極電離真空計。 フイラメントを管の軸上に置き,グリッドおよびブレートをフィラメントと同軸的に配置して,それぞれを集電子電極および集イオン電極としたもの。 TOPに戻る |
| 【trochoidal
focusing mass spectrometer （トロコイド(質量分析計)形分圧真空計）】
直交した静電界および静磁界の中でイオンの軌道がトロコイド形になることを利用して,イオンを分離する質量分析形分圧真空計。 TOPに戻る |
| 【turbine
vacuum pump （ターボ(形)真空ポンプ）】
高速回転するロータによって大量の気体輸送を行う運動量輸送式真空ポンプ。粘性流領域で有効に作動する。 TOPに戻る |
| 【turbo-molecular
pump （ターボ分子ポンプ）】 軸流タービン形の翼をもつロータおよびステータからなる分子ポンプ。 TOPに戻る |
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