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| ◇ヤ◇
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| ◇ユ◇
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| 【U手管真空計
(U-tube manometer) 】
U字管を用いる液柱差真空計。 ヤ行TOPに戻る |
| 【有機金属気相成長法
(MOCVD, metal organic CVD) 】
有機金属化合物を常圧または,減圧下で加熱された基板上に結晶成長させ薄膜を得る方法。成長過程は,研究段階であるが,混晶の成長が容易である。単原子層・オーダーの制御と容易に大面積化が可能。 ヤ行TOPに戻る |
| 【油回転(真空)ポンプ
(oil-sealed rotary vacuum pump) 】
油によって,ロータ,ステータ,翼板などの部品の間の気密力まび無効空間の減少を図っている容積移送式真空ポンプ。 ヤ行TOPに戻る |
| ◇ヨ◇
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| 【容積移送式真空ポンプ
(positive displacement(vacuum)pump) 】
ピストン,ロータ,翼板,バルブなどの機械的部分によって分離された空間に取り込まれた気体を,この系の周期運動によって輸送するポンプ.大半のポンプは気体の圧縮過程をもつ。 備考 容積移送式ポンプは往復動式および回転式の二つに大別する。 ヤ行TOPに戻る |
| 【揺動ピストン形油回転(真空)ポンプ
(rotary plunger vacuum pump) 】
ステータ気密部をしゅう動するプランジャに固定された円筒の外面が,偏心ロータの回転によるプランジャの上下首振り運動に伴いステータ内面をしゅう動し,プランジャ,円筒およびステータで囲まれた空間の容積を変化させて気体輸送を行う容積移送式真空ポンプ。 ヤ行TOPに戻る |
| 【翼板,ベーン
(blade;vane) 】 容積移送式真空ポンプでステータとロータとの間の空間を仕切るしゅう動板。 ヤ行TOPに戻る |
| 【四極子(質量分析計)形分圧真空計,四重極(質量分析計)形分圧真空計(quadrupole
mass spectrometer) 】
4本の柱状電極によって形成された直流分を含む高周波双曲線形電界によってイオンを分離する質量分析形分圧真空計。 ヤ行TOPに戻る |
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