ここでは、真空の歴史についてご紹介いたします。
真空をひとことで言っても、人類の文明の発展同様、苦難の歴史があります。
みなさんの知らない一面も見えるかも?!
■年代別インデックス■
| 1600〜 | 1700〜 | 1800〜 | 1900〜 | 2000〜 |
| 年 代 | 真空の歴史 | 科学・産業史 | 日本での出来事 |
| 1900 | 1905 水銀回転ポンプの発明-ゲーデ (Wolfgang Gaede 独) 1906 ピラニー真空計の発明 熱電対真空計の発明 1909 ベーン型油回転ポンプの発明-ゲーデ 熱電導真空計-ピラニー (M.Pirani 伊) |
1901 実用水銀灯の完成-クーパー・ヒューイット (Peter Cooper Hewitt 米) 1905 光粒子仮説（光の粒子説の復活）-アインシュタイン (Albert Einstein 独-米) 1906 三極管の発明-ド・フォレスト (Lee de Forest 米) ガス入りらせん状タングステン電球の製作-ラングミューラ (Irving Langmuir 米) |
1904（明治37） 日露戦争 |
| 1912 真空蒸着法-R.Pohl.P.Pringhein 1913 分子ポンプの発明-ゲーデ 1915 水銀拡散ポンプの発明-ゲーデ 1916 電離真空計の発明-バックレイ (O.E.Buckley 米) |
ラザフォード・ボアの原子模型 (N.H.D.Bohr デンマーク) 1914 高真空真空管の製作に成功-ラングミューア 蒸着法による金属薄膜抵抗器 |
1914（大正3） 第一次世界大戦 |
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| 1928 拡散ポンプ用の作動油（Apiezon油）開発-ブルヒ (C.R.Burch) |
1929 TEM（トンネル型電子顕微鏡）の発明-ラスカ (E.Ruska) |
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1935 油回転真空ポンプのガスバラスト原理の発明-ゲーデ 分留式油拡散ポンプの発明-ヒックマン (K.C.D.Hickman 米) 1939 ヘリウムリークディテクタ |
1931 量子力学による半導体のウイルソン模型 1932 電子顕微鏡発明される 1937 GT管の開発 1939 MT管の開発（高性能真空管 小型化） |
1935（昭和10） 真空蒸着による鏡の製作 1937（昭和12） 日中戦争 |
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1945 真空管式電子計算機ENIAC完成 （ペンシルバニア大学とIBMとの共同開発） 原子爆弾完成 固体素子半導体の出現 1948 点接触型トランジスタ作用の発見 （ベル研） 接合型トランジスタの特許出願-ショックレー (W.B.Shockley 米) pn接合(pn Junction)の概念確立-ショックレー/ピアソン (W.B.Shockley 米/G.L.Pearson) |
1941（昭和16） 太平洋戦争勃発 血清の真空凍結乾燥 1945（昭和20） 第二次世界大戦終戦 1949（昭和24） 湯川秀樹博士 日本人初のノーベル賞受賞 |
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| 1950 American Vacuum Society(AVS)発足 1953 ゲッターイオンポンプ発表-ハーブ (Herb) 1955 メカニカルブースターポンプの商品化（独） 1958 実用型分子ポンプのPfeiffer社商品化-ベッカー (W.Becker 独) スパッタイオンポンプ（米 バリアン社）-ホール 1953 IUVSTA 第１回 国際真空会議 ナミュール（ベルギー） 1959 クライオポンプの商品化 (B.N.Baily) |
BSC理論 固体回路の開発（米TI社）-ギルビー (Jack S.Kilby) 1954 太陽電池発明-ピアソン/フューラ/シャピン（米 ベル研） (Pearson/Fuller/Chapin) Si pn接合 1957 人類初の人工衛星スプートニク1号打ち上げ（露） エサキダイオードの発明-江崎玲於奈博士 1959 固体回路の開発-キルビー (Jack S.Kilby 米 TI社) |
1950（昭和25） 真空技術研究会設立 国産テープレコーダ製造開始 1952（昭和27） 日本真空技術株式会社設立 テレビ放送開始 1954（昭和29） 真空機器協会設立 トランジスタ生産開始 1955（昭和30） トランジスタラジオ発売-東京通信工業社（現ソニー社） 1958（昭和33） 日本真空協会発足 雑誌「真空」発刊 |
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| 1960年代 固体表面の研究が活発になる。 本格的な半導体投資が行われる。 真空機器・システムやLSI関連のシステムの商品化が相次ぐ時代 日本では、スパッタリング装置・イオン注入装置・RIE装置など半導体製造装置 の国産化が進んだ。 主要公官庁・企業の研究部門へ納品されたのをきっかけとして真空業界の商品系列は、 大きく半導体関連機器にシフトしていく。 |
MOS
トランジスタ特許 1964 MOS ICを開発 高集積化への道に-TI社 1968 世界初の液晶ディスプレイを製作−ハイルマイヤ−（米国RCA社） 1969 アポロ 人類初の月面着陸 |
1960（昭和35） カラーテレビ放送開始 1962（昭和37） カラーテレビ商品化 1964（昭和39） 日本リライアンス株式会社設立 電子卓上計算機発売-シャープ社 東京オリンピック開催 1966（昭和41） 真空冶金株式会社設立 1967（昭和42） 金属表面化学株式会社設立 1968（昭和43） 真空理工株式会社設立 |
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| 1970年代-80年代 真空技術は、つねに産業との関連を強くとりつづけていく。 特に「産業の米」と言われた、半導体関連産業と密接に歩調をとる |
1973 第一次オイルショック |
1971（昭和46） 真空機工株式会社設立 1973（昭和48） 液晶表示電卓の商品化（シャープ） 1974（昭和49） 第6回国際真空会議開催 京都 4K DRAM製品の出荷が始まる サンシャイン計画スタート 1975（昭和50） 三弘アルバック株式会社設立 1976（昭和51） 超LSI開発プロジェクト指導（79年まで） 1979（昭和54） アルバック成膜株式会社設立 |
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1987 SPring8 8GeV 大型放射光施設開発企画着手（日本） |
1982 STM走査型トンネル顕微鏡-Binningらが開発 |
1980（昭和55） 高山アルバック株式会社設立 新エネルギー総合開発機構(NEDO)設立 1981（昭和56） アルバック・クライオ株式会社設立 1982（昭和57） アルバック・ファイ株式会社設立 1983（昭和58） 256K DRAM製品出荷始まる 1985（昭和60） アルバック精機株式会社設立 日本真空工業会設立 1987（昭和62） 東北真空技術株式会社設立 株式会社アルバック・コーポレートセンター設立 1989（平成元年） 1M MOS DRAM製品化 |
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| 1990年代 開花するマルチメディア・情報通信関連産業 真空産業はクリーン・セイブエネルギー関連産業へとシフトしていく。 移動体通信関連機器の需要増大 表示デバイスの飛躍的な進歩 |
WWWブラウザー ネットスケープの開発 インターネット時代 |
1992（平成4） 16M MOS DRAM商品化 1994（平成6） アルバックテクノ株式会社設立 インターネットブーム始まる 1995（平成7） 地下鉄サリン事件 新方式によるPHS WIN95の発売によるマルチメディアPCの売上増大 |
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